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证券之星音书,凭证天眼查APP数据领略中微公司(688012)新获取一项发明专利授权,专利名为“看重电弧放电的下电极组件、等离子体科罚安装及能力”,专利苦求号为CN202110750302.0,授权日为2025年8月8日。
专利纲领:本发明提供一种看重电弧放电的下电极组件,配置在一真空反馈腔内,包含:基座,用于支承晶圆并行动下电极组件的中心电极;射频电源,用于向中心电极提供第一射频信号;环部件,围绕中心电极;旯旮电极,配置在环部件内并与中心电极电绝缘;旯旮电极馈电组件,用于向旯旮电极提供第二射频信号;旯旮电极馈电组件包含:导电芯和环绕配置于导电芯外围的导电屏蔽层,导电芯与导电屏蔽层之间填充有绝缘层,导电屏蔽层与中心电极电性连结;导电屏蔽层与容纳旯旮电极馈电组件的通谈内壁之间具有缺点,以容纳该通谈的热胀冷缩或由机械舛讹导致的周围部件组合酿成的尺寸不匹配。本发明还提供一种等离子体科罚安装,以及一种看重下电极组件电弧放电的能力。
本年以来中微公司新获取专利授权103个,较前年同时增多了18.39%。汇集公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面参加了14.18亿元,同比增73.59%。
通过天眼查大数据分析,中微半导体建筑(上海)股份有限公司共对外投资了29家企业,参与招投标形式67次;财产陈迹方面有商标信息98条,专利信息1535条,著述权信息13条;此外企业还领有行政许可76个。
数据起原:天眼查APP
以上实质为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不组成投资提议。
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